低溫等離子凈化設備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子廢氣凈化器工作區(qū)組成

1：微波激發(fā)區(qū)

本工藝有3至9個微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對比較高，在納秒的時間內(nèi)作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設計只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預激發(fā)能。由于微波的預激功能，的提高等離子體區(qū)，板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術的運用，本工藝在同類設備的比較中顯得設備精煉而效果優(yōu)良。

2：低溫等離子體激發(fā)

本工藝有40支至240支充有氣體的無管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術，諸多機構室稱在常壓下實現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，在無管區(qū)實現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有強的能量平衡性，在粒子撞擊中失能少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。在實踐應用中，在于低氣壓究竟是多少帕？管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟價值？這沒有理論模型可言，只有通過實踐、實驗、分析。

板區(qū)

根據(jù)被處體的流量，板間的電壓分12KV、16KV至42KV，板間加以足夠高的電壓，在引風的作用下，區(qū)由于負壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當概率的粒子可能實現(xiàn)低溫等離子體。

根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術與一體，經(jīng)山東、江蘇、浙江三地多家醫(yī)藥、化工企業(yè)的實地測試，原廢氣的去除率非常理想，根據(jù)尼普公司的測試，廢氣去除率可達84%以上。

低溫等離子廢氣凈化器在廢氣處理中的應用隨著工業(yè)經(jīng)濟的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環(huán)境帶來嚴重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產(chǎn)生的危害；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災難頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟、可行性強的處理方法勢在必行。